میکروسکوپ های الکترونی بر دو نوع اند:
میکروسکوپ الکترونی پویشی (SEM)
میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM)
تفاوت عمده میکروسکوپ نوری با الکترونی در منبع نوری آنها است. در میکروسکوپ نوری از نور مریی و تاباندن آن بر نمونه استفده میشود ولی در میکروسکوپ الکترونی، نمونه توسط باریکه ایی از الکترونها بمباران میشود.
با برخورد الکترونها به سطح نمونه 3 بازخورد از نمونه مورد تجزیه و تحلیل قرار میگیرد: 1- الکترونهایی که توسط نمونه بازگردانده میشوند. 2- الکترونهایی که از اتم های نمونه کنده میشود. 3- پرتوهای ایکس که از جذب الکترون توسط اتم های نمونه ناشی شده و از نمونه ساطع میشود.
برای تشخیص هر یک از پیامدهای مذکور از دتکتورهای خاص استفاده میشود.
درباره این سایت